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电子半导体行业酸碱废气治理方法

分类:行业资讯发布时间:2022-04-22

苏州启隆环保工程有限公司一家致力于大气污染防治的高新技术企业,可提供废气治理方案、工程设计安装、非标设备定制,设备维护与保养等一体化服务。


主要聚焦业务领域:工业化工废气治理,实验室废气治理,电镀业废气治理,污水、垃圾臭气类,喷漆印染VOCs废气等领域的废气治理。



电子半导体行业酸碱性废气处理方法,推荐使用喷淋塔。这是因为半导体制造中产生的酸性和碱性废气采用分别收集、分别处理的方法,但处理设备和处理原理基本相同。


对于含有 酸性/碱性物质的废气,大都采用大型洗涤式中央废气处理系统进行处理。但是,有些情况下,由于半导体制造工作区域离中央废气处理系统距离较远,因此部分酸性/碱性废气在输送至中央废气处理系统前,常因气体特性导致在管路中结晶或粉尘堆积,造成管路堵塞后导致气体外泄,严重者甚至引发爆炸,危害现场工作人员的工作安全。

因此,在工作区域需配置适合制程气体特性的就地废气处理设备进行就地处理,之后再排入中央处理系统,而一些特殊的废气,包括剧毒、自燃、易爆等废气则需要先通过干式洗涤塔等设备通过吸附或氧化/燃烧等方法就地处理,之后再排人中央废气处理系统 。


苏州启隆环保工程有限公司

本文网址:http://www.qilonghb.com/news/603.html

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